| 특허명 | 선형 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2012-0003239 |
| 출원일 | 2012-01-11 |
| 등록번호 | 1368573 |
| 등록일 | 2014-02-21 |
| 대표발명자 | 기능박막연구그룹 김도근 |
| 초록 | 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치가 제공된다. 상기 융복합 표면처리장치는, 연속하여 공급되는 표면처리 대상을 표면 처리하도록 적어도 둘 이상의 공정실을 구비한 공정 용기 및 상기 각 공정실마다 설치되는 이온빔 발생장치를 포함하며, 상기 각 공정실의 이온빔 발생장치는 상기 표면처리 대상을 공정목적에 적합한 이온빔 에너지로 표면 처리한다. |
| 발명명칭 | 선형 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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