| 특허명 | P4 보호층이 구비된 반사 방지 기판 및 그 제조 방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2012-0027763 |
| 출원일 | 2012-03-19 |
| 등록번호 | 1244889 |
| 등록일 | 2013-03-12 |
| 대표발명자 | 소자기능박막연구실 윤정흠 |
| 초록 | 보호층이 구비된 반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 개시된다. 빛의 투과가 가능한 베이스 기판을 준비하는 단계; 건식 에칭 방식을 이용하여 베이스 기판의 표면에 복수의 돌기형 구조체를 형성하는 단계 및 무기물 입자의 증착에 의해 복수의 돌기형 구조체 각각에 빛의 반사를 방지할 수 있는 반사 방지 구조체를 형성하여, 베이스 기판 표면에 반사 방지층을 형성하는 단계를 포함하는 보호층이 구비된 반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 제공된다. |
| 발명명칭 | 보호층이 구비된 반사 방지 기판 및 그 제조 방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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