| 특허명 | 금속패턴 형성 장치 및 이를 이용한 금속패턴 형성 방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2012-0066276 |
| 출원일 | 2012-06-20 |
| 등록번호 | 1407627 |
| 등록일 | 2014-06-09 |
| 대표발명자 | 나노기능분말연구실 김동수 |
| 초록 | 본 발명은 레이저 발생부; 상기 레이저 발생부로부터 제공된 레이저광의 초점을 맞추고, 레이저광의 크기를 축소하기 위한 프로젝션부; 및 상기 프로젝션부를 거친 상기 레이저광이 조사되는 전해조를 포함하는 금속패턴 형성 장치 및 이를 이용한 금속패턴 형성 방법에 관한 것으로, 포토리소그라피 공정을 배제할 수 있기 때문에, 공정이 단순할 뿐만 아니라, 환경오염을 발생시키는 문제점을 해결할 수 있고, 패턴의 형상, 정밀도 및 생산성이 우수한 금속패턴을 형성할 수 있다. |
| 발명명칭 | 금속패턴 형성 장치 및 이를 이용한 금속패턴 형성 방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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