| 특허명 | 타이타늄-니켈 합금박막 및 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2012-0069517 |
| 출원일 | 2012-06-28 |
| 등록번호 | 1266253 |
| 등록일 | 2013-05-15 |
| 대표발명자 | 타이타늄연구실 김성웅 |
| 초록 | 본 발명은 다중 스퍼터링장치 내부에 Ti타겟과 Ni타겟을 이격시켜 배치하고, 서로 상이한 전압을 인가하여 Ti타겟과 Ni타겟을 동시에 스퍼터링함으로써 기재에 타이타늄(Ti)과 니켈(Ni)이 혼합된 상태로 증착되어 형성된 타이타늄-니켈 합금박막에 있어서, 상기 타이타늄-니켈 합금박막은 500℃ 이상의 온도에서 30분 이상의 시간 동안 열처리(Annealing)하여 결정화됨을 특징으로 한다. |
| 발명명칭 | 타이타늄-니켈 합금박막 및 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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