| 특허명 | 캐필러리 플라즈마 발생장치의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2012-0077974 |
| 출원일 | 2012-07-17 |
| 등록번호 | 1404134 |
| 등록일 | 2014-05-29 |
| 대표발명자 | 표면기술연구본부 남기석 |
| 초록 | 본 발명은 플라즈마가 아크로 전이되는 현상을 억제하여 대기압 근처에서도 안정적으로 플라즈마를 발생시키기 위해, 복수의 캐필러리부들을 포함하는 도전성 몸체를 제공하는 단계; 및 상기 복수의 캐필러리부들의 적어도 저면부의 일부를 노출하도록 상기 몸체의 외주면 상에 절연성 차폐층을 형성하는 단계를 포함하는, 플라즈마 발생장치용 회전 전극의 제조방법을 제공한다. |
| 발명명칭 | 플라즈마 발생장치용 회전 전극의 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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