| 특허명 | 가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2013-0156635 |
| 출원일 | 2013-12-16 |
| 등록번호 | 1624597 |
| 등록일 | 2016-05-20 |
| 대표발명자 | 표면기술연구본부 남기석 |
| 초록 | 본 발명은 가공 대상물의 위치를 제어할 수 있는 가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비에 관한 것으로서, 증착 장비의 챔버 내부에 설치되고, 플라즈마 형성 공간을 대향하여 설치되는 가동 스테이지; 상기 가동 스테이지를 전후진시키는 가동 스테이지 전후진 장치; 및 상기 챔버에 설치되고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치를 승하강시키는 가동 스테이지 승하강 장치;를 포함하고, 상기 가동 스테이지 전후진 장치는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있는 적어도 한 쌍의 랙기어와 피니언기어를 포함하고, 상기 가동 스테이지 승하강 장치는, 상기 가동 스테이지 전후진 장치와 상기 가동 스테이지 승하강 장치 사이의 기밀이 유지되도록 벨로우즈관을 포함할 수 있다. |
| 발명명칭 | (저가양도접수중)가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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