| 특허명 | 전주 마스터 및 이의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2015-0065271 |
| 출원일 | 2015-05-11 |
| 등록번호 | 2330025 |
| 등록일 | 2021-11-18 |
| 대표발명자 | 전기화학연구실 이주열 |
| 초록 | 본 발명은 개구영역을 포함하는 절연층 패턴; 상기 절연층 패턴의 개구영역에 위치하는 제1금속 패턴; 상기 절연층 패턴의 제1면에 위치하는 금속층; 및 상기 제1금속패턴으로부터 연속적으로 형성되고, 상기 금속층의 내부에 위치하는 제2금속패턴을 포함하는 전주 마스터 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 제조가 용이하고 미세선폭의 구현이 가능한 전주마스터를 제공할 수 있다. |
| 발명명칭 | 전주 마스터 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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