보유특허

특허명 가스센서 및 그 제조방법
출원등록국 한국
출원번호 2015-0062778
출원일 2015-05-04
등록번호 1734355
등록일 2017-05-15
대표발명자 소자기능박막연구실 조병진
초록 본 발명은 가스센서 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따른 가스센서는 기판, 가스와 접촉하면 전기전도도가 변화되도록 상기 기판의 일면에 반도체성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물이 증착되어 형성되는 가스감지 필름 및 전류가 유입 또는 유출되도록 상기 가스감지 필름의 일면에 금속성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물이 증착되어 형성되는 전극을 포함할 수 있다.
발명명칭 가스센서 및 그 제조방법
출원인 한국기계연구원
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첨부파일 키프리스 검색