| 특허명 | 반응결합 질화규소의 제조 방법 및 장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2015-0124330 |
| 출원일 | 2015-09-02 |
| 등록번호 | 10-2535846 |
| 등록일 | 2023-05-18 |
| 대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구실 김하늘 |
| 초록 | 본 발명은 반응결합 질화규소의 제조 장치에 관한 것이다. 본 발명은 피가열체의 수용 공간을 형성하며, 상기 피가열체를 가열하기 위한 발열체를 내부에 구비하는 제1 챔버; 및 상기 제1 챔버와 접하는 제2 챔버를 포함하고, 상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버보다 낮은 온도로 유지하기 위한 온도 유지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, Si 용융현상 없이 반응결합 질화규소를 제조할 수 있게 된다. |
| 발명명칭 | 반응결합 질화규소 제조장치 및 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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