특허명 | 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 합금 및 그 제조방법, 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 합금을 포함하는 트랜지스터 및 그 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2016-0041704 |
출원일 | 2016-04-05 |
등록번호 | 2445157 |
등록일 | 2022-09-15 |
대표발명자 | 소자기능박막연구실 조병진 |
초록 | 본 발명은 전이금속 디칼코지나이드계 합금에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 전이금속 디칼코지나이드계 합금은 반도체성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물(AC 2 )과 금속성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물(BC 2 )로 형성되고,화학식 A 1- x B x C 2 를 만족하되,상기 화학식 A 1- x B x C 2 에서, 상기 A는 Mo, W 중 어느 하나가 선택될 수 있고, 상기 B는 Nb, Ta, Ti, Zr, Hf, Tc, Re, Cu, Ga, In, Sn, Ge, Pb 중 어느 하나가 선택될 수 있고, 상기 C는 S, Se, te 중 어느 하나가 선택될 수 있으며, 0.04〈 x〈 0.06일 수 있다. |
발명명칭 | 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 합금 및 그 제조방법, 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 합금을 포함하는 트랜지스터 및 그 제조방법 |
출원인 | 한국재료연구원 |
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