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특허명 복합실리콘산화막 형성방법, 이를 이용한 복합실리콘산화막 및 이를 이용한 투습방지부재
출원등록국 한국
출원번호 2017-0098628
출원일 2017-08-03
등록번호 1977885
등록일 2019-05-07
대표발명자 소자기능박막연구실 권정대
요약서
첨부파일