| 특허명 | 연성 가스센서 및 그 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2017-0179677 |
| 출원일 | 2017-12-26 |
| 등록번호 | 2001664 |
| 등록일 | 2019-07-16 |
| 대표발명자 | 기능세라믹연구실 류정호 |
| 초록 | 본 발명은 연성 기판; 상기 연성 기판 일면에 중공형 과립상의 가스 감응 산화물이 증착되어 형성된 가스 감지층; 및 상기 가스 감지층의 일면에 형성된 감지 전극;을 포함하고, 상기 가스 감지층은 가스 감응 산화물 과립을 상온에서 진공 분사하여 형성되는, 연성 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 연성 가스센서 및 그 제조방법 |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
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| 첨부파일 |
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