| 특허명 | 금속 박막 기판 및 이의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2019-0038498 |
| 출원일 | 2019-04-02 |
| 등록번호 | 2251877 |
| 등록일 | 2021-05-07 |
| 대표발명자 | 나노표면연구실 윤정흠 |
| 초록 | 본 발명은 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 베이스 기판; 및 금속 또는 이의 합금으로 구성되고, 전이금속이 도핑된 금속 박막;을 포함하고, 상기 금속의 질화 또는 산화 처리에 대한 반응성은 상기 전이금속의 질화 또는 산화 처리에 대한 반응성보다 낮고, 상기 금속 박막은 전이금속의 질화물 또는 산화물을 포함하는, 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 금속 박막 기판 및 이의 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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