| 특허명 | 도금액에 포함된 첨가제 분해 산물 농도 측정 장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2019-0120990 |
| 출원일 | 2019-09-30 |
| 등록번호 | 2223889 |
| 등록일 | 2021-02-26 |
| 대표발명자 | 전기화학연구실 최승회 |
| 초록 | 본 발명은 구리 도금공정 중 도금액에 포함된 도금 첨가제의 분해 산물인 일가 구리이온(Cu + ), 3-머캡토프로필 설포네이트(3-mercaptopropyl sulfonate, MPS), 또는 Cu + -MPS의 농도를 직접적으로 연속하여 측정할 수 있는 측정방법, 전기화학적 측정 셀, 및 측정 장치에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 도금액에 포함된 첨가제 분해 산물 농도 측정 장치 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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