| 특허명 | 이온빔 발생 장치 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2019-0157667 |
| 출원일 | 2019-11-29 |
| 등록번호 | 2346196 |
| 등록일 | 2021-12-28 |
| 대표발명자 | 극한환경코팅연구실 김종국 |
| 초록 | 이 발명은 내부 공간을 가지며 상면이 개방되고, 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀들을 갖는 케이싱, 케이싱의 상면에 배치되고, 케이싱이 내부 공간을 노출하는 개구를 갖는 음극, 및 케이싱의 내부 공간에 음극과 이격되도록 배치되며, 음극의 저면과 대향하는 상면을 갖는 양극을 포함하여 구성되고, 음극에 의해 형성되는 전기장과 양극과 음극 사이의 전기장에 의해 공급되는 가스를 이온화하여 개구로 이온빔을 방출하는 이온빔 발생 장치에 관한 것으로서, 이 발명의 이온빔 발생 장치는, 양극은 음극의 저면과 대향하는 상기 상면을 갖는 제1 양극부와 냉각수가 유통되는 냉각 채널이 마련되고 제1 양극부의 하부에 배치되는 제2 양극부를 포함하며, 제1 양극부와 제2 양극부는 서로 분해 가능하게 결합되고, 제2 양극부에는 케이싱을 관통하여 냉각 채널에 냉매가 유입되는 유입구 및 냉각 채널로부터 냉매가 유출되는 유출구가 배치되는 것이다. |
| 발명명칭 | 이온빔 발생 장치 |
| 출원인 | 한국재료연구원|박창하 |
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| 첨부파일 |
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