특허명 | 다중분석용 플라즈모닉 칩 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2020-0006029 |
출원일 | 2020-01-16 |
등록번호 | 2255110 |
등록일 | 2021-05-17 |
대표발명자 | 나노표면연구실 박성규 |
초록 | 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 금속 함유 박막; 상기 제1 금속 함유 박막 상에 형성된 마이크로 웰 어레이; 상기 마이크로 웰 내부에 적층된 금속 함유 나노와이어;를 포함하고, 상기 금속 함유 나노와이어는 상기 제1 금속 함유 박막 및 인접한 금속 함유 나노와이어와 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하는, 다중분석용 플라즈모닉 칩에 관한 것이다. 상기 본 발명에 의하면, 기판의 종류에 한정되지 않고 다양한 기판에 형성되는 표면증강 라만산란(surface-enhanced Raman scattering, SERS) 효과가 개선되고, 금속 함유 나노와이어의 사용량이 최적화된 다중분석용 플라즈모닉 칩을 제공할 수 있다. |
발명명칭 | 다중분석용 플라즈모닉 칩 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국재료연구원 |
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