특허명 | 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법 |
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출원등록국 | 한국 |
출원번호 | 2020-0063127 |
출원일 | 2020-05-26 |
등록번호 | 2330451 |
등록일 | 2021-11-19 |
대표발명자 | 전기화학연구실 김만 |
초록 | 본 발명은 외측에 음각 패턴을 포함하고, 내측에 중공부를 포함하는 원통형 금속 몰드; 및 상기 중공부에 삽입된 더미 롤러를 포함하는 롤 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 원통형 금속 몰드의 전면적에 접합부가 없어, 에지 영역들이 분리되는 문제점이 없으며, 또한, 접합부가 없으므로, 연속적으로 패터닝 공정을 수행할 수 있다. |
발명명칭 | 임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법 |
출원인 | 한국재료연구원 |
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