| 특허명 | 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2020-0062190 |
| 출원일 | 2020-05-25 |
| 등록번호 | 2411792 |
| 등록일 | 2022-06-17 |
| 대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구실 박영조 |
| 초록 | 30 vol% 내지 70 vol%의 이트리아(Y 2 O 3 ); 및 30 vol% 내지 70 vol%의 마그네시아(MgO);를 포함하는 복합 소결체를 포함하고, 내플라즈마성을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품이 제공된다. 본 발명의 일 측면에서 제공되는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품은 플라즈마에 대한 내식성이 우수하며, 복합 소결체를 비교적 낮은 상대밀도로 소결하더라도 양호한 플라즈마에 대한 내식성을 가질 수 있다. 또한, 복합 소결체의 결정립의 크기가 작고, 에칭 후의 표면조도 증가도 작음으로써, 오염입자를 저감시킬 수 있다는 효과가 있다. 나아가, 기존의 내플라즈마성 소재에 비하여 강도가 우수하며, 비용이 저렴하여, 경제성 및 활용도 측면에서 우수하다. |
| 발명명칭 | 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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