| 특허명 | 실리콘 분말의 제조방법 및 이를 이용한 질화규소의 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2020-0093736 |
| 출원일 | 2020-07-28 |
| 등록번호 | 10-2475700-00-00 |
| 등록일 | 2022-12-05 |
| 대표발명자 | 타이타늄연구실 이동원 |
| 초록 | 실리콘 분말의 제조방법 및 이를 이용한 질화규소의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 이산화규소(SiO 2 ) 분말을 마그네슘(Mg) 증기와 접촉시켜 환원된 실리콘 분말을 형성하는 단계; 및 상기 환원된 실리콘 분말을 질소 분위기에서 열처리하여 상기 실리콘 분말 표면에 질화물층을 형성하는 단계;를 포함하는, 실리콘 분말의 제조방법 및 이를 이용한 질화규소의 제조방법에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 실리콘 분말의 제조방법 및 이를 이용한 질화규소의 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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