| 초록 |
본 발명은 질화규소 소결체 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 최소한 부분적으로 면 방향 결정 배향성을 갖고, 900 MPa 이상의 꺾임강도를 갖는 것을 특징으로 하는, 질화규소 소결체 기판을 제공한다. 또한, 질화규소 분말 성형체를 제조하는 단계; 상기 제조된 성형체를 질소 분위기 하에서, 열간 가압하여 1차 소결하는 단계; 및 상기 1차 소결된 성형체를 질소 분위기 하에서, 가스 압력으로 2차 소결하는 단계;를 포함하는 질화규소 소결체 기판의 제조방법을 제공한다. 본 발명은 일축 방향으로 열간 가압하여 1차 소결한 후 가스 압력으로 2차 소결함으로써 소결 온도 및 시간을 감소시켜, 에너지가 절약되고, 입자 성장 억제 및 기공 구조 감소로 강도가 향상되는 효과가 있다. 질화규소 소결체 기판의 강도 및 내열충격성이 우수하여 제품의 내구성, 신뢰성 및 생산성이 개선되고, 또한, 면 방향 열전도도가 높아, 반도체 공정 세라믹 히터에 적용시 면 전체 균일한 열 분포를 얻을 수 있어, 반도체 불량률 감소의 이점이 있다. |
