| 특허명 | 자장여과 아크 소스 장치 운전 시스템 및 이를 이용한 자장여과 아크 소스 장치 운전방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2021-0113801 |
| 출원일 | 2021-08-27 |
| 등록번호 | 2585453 |
| 등록일 | 2023-09-27 |
| 대표발명자 | 극한환경코팅연구실 김종국 |
| 초록 | 자장여과 아크 소스 장치; 및 상기 촉발전극의 촉발을 제어하는 제어부;를 포함하는 자장여과 아크 소스 장치 운전 시스템으로, 상기 제어부는 상기 아크증발부에 의하여 발생한 덕트 전류를 측정하는 전류 측정부; 상기 전류 측정부에 의하여 측정된 전류가 소정의 값 이하인 경우 상기 촉발전극이 상기 타겟부재와 접촉하여 아크를 재발생시키도록 상기 촉발전극에 회전 신호를 전송하는 촉발 유도부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 소스 장치 운전 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 측면에서 제공되는 자장여과 아크 소스 장치 운전 시스템은 장시간 동안 음극 타겟의 안정적인 공급 및 소모가 가능하여, 자장여과 아크 소스 장치를 장시간 동안 안정적으로 운전할 수 있다는 효과가 있다 |
| 발명명칭 | 자장여과 아크 소스 장치 운전 시스템 및 이를 이용한 자장여과 아크 소스 장치 운전방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
| 도면 | 다운로드 |
| 첨부파일 |
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