| 초록 |
챔버를 포함하는 아크증발부; 및 상기 챔버의 제1 단부와 연결되는 필터부;를 포함하는 자장여과 아크 소스 장치에 있어서, 상기 아크증발부의 챔버는 상기 챔버의 제1 단부의 반대측 단부에 위치하는 제2 단부에 위치하며, 타겟부재가 결합된 음극; 상기 음극과 이격되어 배치되며, 상기 타겟부재로부터 방출된 전자가 유입되는 양극; 상기 타겟부재와 접촉하여 아크를 발생시키기 위한 촉발전극; 및 상기 타겟부재를 둘러싸도록 배치되어, 퇴적물을 포집할 수 있는 포집부;를 포함하며, 상기 촉발전극은 상기 챔버의 중심을 기준으로 상기 양극 외부의 일 점에 고정되어 상기 일 점을 축으로 하여 회전할 수 있으며, 상기 양극은 상기 촉발전극이 통과할 수 있도록 개방된 통로를 포함하고, 상기 촉발전극은 양극 외부로부터 상기 양극의 통로를 통과하여 상기 타겟부재와 접촉할 수 있는 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 소스 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에서 제공되는 자장여과 아크 소스 장치는 음극의 절연 파괴를 방지하여 장시간 음극의 절연성을 유지할 수 있으며, 이에 따라 자장여과 아크 소스 장치를 장시간 동안 안정적으로 운전할 수 있다는 효과가 있다. |
