| 특허명 | 이트륨계 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법 |
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| 출원등록국 | 한국 |
| 출원번호 | 2022-0112622 |
| 출원일 | 2022-09-06 |
| 등록번호 | 10-2659099 |
| 등록일 | 2024-04-16 |
| 대표발명자 | 엔지니어링세라믹연구실 마호진 |
| 초록 | 본 발명은 이트륨계 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 Y 2 O 3 및 Y 3 Al 5 O 12 (YAG)을 9:1 내지 5:5의 중량비로 혼합하여 소결한 이트륨계 복합 소결체를 포함하고, 내플라즈마성을 갖는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법에 관한 것이다. |
| 발명명칭 | 이트륨계 복합 소결체를 포함하는 반도체 제조용 플라즈마 식각 장치 부품 및 그 제조방법 |
| 출원인 | 한국재료연구원 |
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| 첨부파일 |
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