| 분류 | 극한재료 |
|---|---|
| 기술명 | 고경도 무수소 DLC막 코팅 장치 및 공정 기술 |
| 연구자 | 김종국 |
| 관련특허 | |
| 개요 | 고경도 무수소 DLC 양산화 장치 기술 : 대면적(1m급) 박막/후막 코팅 공정 및 장치 기술 맞춤형 무수소 DLC 공정 기술 : 적용 부품에 따른 다양한 경도(20~70GPa), 기능성 및 두께 (~20u m) 제어 공정 기술 |
| 응용분야 | 금속,반도체,자동차/선박항공기,전기/전자 |
| 동영상 링크 | https://youtu.be/GO_nLqHkXYM |
| 첨부파일 | 고경도 무수소 DLC막 코팅 장치 및 공정 기술.pdf |
